Дисциплина «Техника высокого вакуума и вакуумные технологии» является одной из основных дисциплин в плане подготовки инженеров − технологов в области производства материалов и изделий электронной техники, где широко используются вакуумные технологические процессы. Многие современные методы исследований поверхности материалов, применяемые при разработке планарных технологий, также реализуются с использованием техники высокого вакуума.
Целью учебной дисциплины «Техника высокого вакуума и вакуумные технологии» является изучение принципов действия, конструкций и характеристик технических средств получения высокого вакуума и контроля работы вакуумных систем, физических и физико-химических процессов в условиях вакуума, основ вакуумных технологических процессов, применяемых в производстве приборов твердотельной электроники, и современных высоковакуумных аналитических методов.
Учебный план предусматривает для изучения дисциплины «Техника высокого вакуума и вакуумные технологии» всего 140 часов, из них 68 часов аудиторных занятий; распределение часов по видам занятий: лекций − 34, лабораторных занятий − 34. Предусмотрено также выполнение курсовой работы.
В соответствии с учебным планом дисциплина изучается в VII семестре; предусмотрен экзамен.
